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Substrate Scriber
디스플레이 기판 및 소자 절단
문의 : 이선영  (031-201-3295)
제조사 : 한국 (신도기연)
모델명 : SDSC-KHU02A

 
기판세정기
기판상의 불순물 제거
문의 : 김지숙  (031-201-3295)
제조사 : 한국 (신도기연)
모델명 : SDCL-KH01

 
플라즈마 클리너
LCD 및 반도체의 표면처리 및 세정
문의 : 라하나  (031-201-3295)
제조사 : 미국(Plasmatic Systems)
모델명 : U0050725A

 
Spin Coater(PR용)
Photoresist(감광액) 도포
문의 : 김지숙  (031-201-3295)
제조사 : 한국(신도기연)
모델명 : SDSP-KH01

 
Slit Die Coater
슬릿다이를 이용한 박막 코팅
문의 : 김은혜  (031-201-3295)
제조사 : 한국(웰텍이엔지)
모델명 : WT-KHU-LSCM-090601

 
UV 노광기
광배향 및 감광액 도포 후 UV조사
문의 : 김지숙  (031-201-3295)
제조사 : 한국(나노텍)
모델명 : SHG1K + STG1

 
마스크 얼라이너(Mask Aligner)
Photolithography 공정에서 정밀 align 후 노광
문의 : 김지숙  (031-201-3295)
제조사 : 한국(마이다스시스템)
모델명 : MDA-8000

 
(Spin)Developer
Photo 공정에서 pattern 현상
문의 : 김지숙  (031-201-3295)
제조사 : 한국 (신도기연)
모델명 : SDSP-KH01

 
Wet Etcher
Photo 공정 후 식각
문의 : 김지숙  (031-201-3295)
제조사 : 한국 (신도기연)
모델명 : SDWE-KH01

 
Pattern Printing Machine
PI 및 유기물의 패턴된 박막 형성
문의 : 김은혜  (031-201-3295)
제조사 : 일본(NAKAN)
모델명 : C-200Z