○ 히터나 히터모듈과 같은 반도체 공정용 확산 가마 장비에는 면적 이용도를 높이고 공간효율을 높이기 위해 튜브 형 탄화규소 발열체 및 발열 모듈을 개발하여 왔다. 그러나 튜브 형 세라믹스를 분리막이나 촉매로 사용하기 위해서는 다공질 튜브 형 세라믹 구조가 필요하다. ○ 본고에서는 기공률이 높으면서도 굽힘 강도가 큰 튜브 형 세라믹스를 제조하기 위해 각종 크기 및 모양의 기공유도 중합체(porogen)를 중합체인 전구체에 혼합하고 몰드에서 성형한 후 신중한 열처리를 통해 잔류 탄소가 없도록 하여 시편을 제조하였다. 이들 열처리한 시편에 대한 밀도, 기공률, 지름방향 굽힘 강도 및 투과도를 통해 기공형상이 잘 유지되고 투과성을 조절할 수 있는 다공질 튜브 형 세라믹스의 제조조건들을 검토하였다. ○ 2000년 이전에는 메탄가스와이산화탄소의 혼합가스 등을 분리하기 위한 수단으로 튜브 형 세라믹스와 다공질 뚜껑을 갖는 가스분리장치 등이 연구되어 왔으나 2009년에는 일본의 AIST에서는 고성능 튜브 형 마이크로 SOFC의 제조기술을 발전시켜 전해질의 박막화(20→3㎛)와 고도의 전극구조의 제어를 가능케 하는 기술이 개발되었다. SOFC의 전극저항은 연료극의 기공률에 크게 영향을 받아 기공률 54%에서는 전기 저항률이 1/30까지 줄었다고 한다. 또 내마모성이 강해 일정한 동작특성을 확보할 수 있는 stator 및 이를 이용한 세라믹 튜브 형 초음파 모터를 삼성전기에서 개발하였다. ○ 견고한 다공질 구조를 포로겐을 이용하는 방법들이 각 분야에서 사용되고 있다. 기공형성 후 포로겐을 제거하는 방법은 고온에서 휘발시키는 법, 전자 빔을 이용한 포로겐 분자들의 파괴, UV curing 등이 있다. 노벨러스에서는 다중 파장의 자외선 열처리기술(UVTP)을 개발 초저유전상수 막에서 포로겐을 제거하여 반도체 공정 소자성능을 향상시켰다. ○ KAIST에서는 벌집구조 제올라이트(지름 3.5-0.55nm)를, UNIST에서는 나노 다공성 금속산화물을 포로겐을 이용하여 제조하였다. 따라서 포로겐을 이용한 각종 다공질 물질의 제조기술을 발전시켜 나가야 한다.
-
고발광 나노형광체
-
산소투과성 친수성/친유성 고분자 가교 시스템 (콘택트렌즈 재료)
-
플렉시블하고 투명한, 유기태양전지용 구리그물망 전극
-
고발광성 유로퓸-PMMA-SiO2 필름
-
발광성 실리콘 코팅
-
중합체 유기실리콘 화합물을 함유하는 타이어 측면부
-
에너지 절감과 생산을 겸한 차세대 스마트 윈도우의 기술개발 동향
-
플렉시블 디스플레이 핵심 요소 기술 개발
-
천연 화장품 기능성 원료
-
중합체 전구체를 이용한 튜브형 세라믹 구조의 제조
-
효율성이 높은 스마트 유리의 제조
-
감압접착제 조성물의 제조방법
-
필러분산 고분자의 온도에 대한 도전성
-
저열팽창 BaxSr1-xZn2SiO7 세라믹의 졸-겔 합성
-
콜로이드 나노 실리카로 강화된 알키드 바인더의 기계적 특성
-
전자기기용 고기능 바이오플라스틱의 개발
-
.유기-무기 하이브리드 페로브스카이트 2차원 포토닉 필름
-
단백질 폐기물에서 접착제를 얻는 방법
-
실리케이트 개질 에폭시 수지로 이루어진 내화도료 조성물
-
페놀수지 충전 SiC의 Si 반응성 공정으로 제조된 SiC 다공체