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○ 히터나 히터모듈과 같은 반도체 공정용 확산 가마 장비에는 면적 이용도를 높이고 공간효율을 높이기 위해 튜브 형 탄화규소 발열체 및 발열 모듈을 개발하여 왔다. 그러나 튜브 형 세라믹스를 분리막이나 촉매로 사용하기 위해서는 다공질 튜브 형 세라믹 구조가 필요하다. ○ 본고에서는 기공률이 높으면서도 굽힘 강도가 큰 튜브 형 세라믹스를 제조하기 위해 각종 크기 및 모양의 기공유도 중합체(porogen)를 중합체인 전구체에 혼합하고 몰드에서 성형한 후 신중한 열처리를 통해 잔류 탄소가 없도록 하여 시편을 제조하였다. 이들 열처리한 시편에 대한 밀도, 기공률, 지름방향 굽힘 강도 및 투과도를 통해 기공형상이 잘 유지되고 투과성을 조절할 수 있는 다공질 튜브 형 세라믹스의 제조조건들을 검토하였다. ○ 2000년 이전에는 메탄가스와이산화탄소의 혼합가스 등을 분리하기 위한 수단으로 튜브 형 세라믹스와 다공질 뚜껑을 갖는 가스분리장치 등이 연구되어 왔으나 2009년에는 일본의 AIST에서는 고성능 튜브 형 마이크로 SOFC의 제조기술을 발전시켜 전해질의 박막화(20→3㎛)와 고도의 전극구조의 제어를 가능케 하는 기술이 개발되었다. SOFC의 전극저항은 연료극의 기공률에 크게 영향을 받아 기공률 54%에서는 전기 저항률이 1/30까지 줄었다고 한다. 또 내마모성이 강해 일정한 동작특성을 확보할 수 있는 stator 및 이를 이용한 세라믹 튜브 형 초음파 모터를 삼성전기에서 개발하였다. ○ 견고한 다공질 구조를 포로겐을 이용하는 방법들이 각 분야에서 사용되고 있다. 기공형성 후 포로겐을 제거하는 방법은 고온에서 휘발시키는 법, 전자 빔을 이용한 포로겐 분자들의 파괴, UV curing 등이 있다. 노벨러스에서는 다중 파장의 자외선 열처리기술(UVTP)을 개발 초저유전상수 막에서 포로겐을 제거하여 반도체 공정 소자성능을 향상시켰다. ○ KAIST에서는 벌집구조 제올라이트(지름 3.5-0.55nm)를, UNIST에서는 나노 다공성 금속산화물을 포로겐을 이용하여 제조하였다. 따라서 포로겐을 이용한 각종 다공질 물질의 제조기술을 발전시켜 나가야 한다.





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