|
Substrate Scriber |
디스플레이 기판 및 소자 절단 |
문의 : 이선영 (031-201-3295) |
제조사 : 한국 (신도기연) |
모델명 : SDSC-KHU02A |
|
|
|
|
|
|
|
기판세정기 |
기판상의 불순물 제거 |
문의 : 김지숙 (031-201-3295) |
제조사 : 한국 (신도기연) |
모델명 : SDCL-KH01 |
|
|
|
|
|
|
|
플라즈마 클리너 |
LCD 및 반도체의 표면처리 및 세정 |
문의 : 라하나 (031-201-3295) |
제조사 : 미국(Plasmatic Systems) |
모델명 : U0050725A |
|
|
|
|
|
|
|
Spin Coater(PR용) |
Photoresist(감광액) 도포 |
문의 : 김지숙 (031-201-3295) |
제조사 : 한국(신도기연) |
모델명 : SDSP-KH01 |
|
|
|
|
|
|
|
Slit Die Coater |
슬릿다이를 이용한 박막 코팅 |
문의 : 김은혜 (031-201-3295) |
제조사 : 한국(웰텍이엔지) |
모델명 : WT-KHU-LSCM-090601 |
|
|
|
|
|
|
|
UV 노광기 |
광배향 및 감광액 도포 후 UV조사 |
문의 : 김지숙 (031-201-3295) |
제조사 : 한국(나노텍) |
모델명 : SHG1K + STG1 |
|
|
|
|
|
|
|
마스크 얼라이너(Mask Aligner) |
Photolithography 공정에서 정밀 align 후 노광 |
문의 : 김지숙 (031-201-3295) |
제조사 : 한국(마이다스시스템) |
모델명 : MDA-8000 |
|
|
|
|
|
|
|
(Spin)Developer |
Photo 공정에서 pattern 현상 |
문의 : 김지숙 (031-201-3295) |
제조사 : 한국 (신도기연) |
모델명 : SDSP-KH01 |
|
|
|
|
|
|
|
Wet Etcher |
Photo 공정 후 식각 |
문의 : 김지숙 (031-201-3295) |
제조사 : 한국 (신도기연) |
모델명 : SDWE-KH01 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|